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      產品資料

      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置

      如果您對該產品感興趣的話,可以
      產品名稱: 介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置
      產品型號:
      產品展商: 日本Panasonic松下
      產品文檔: 無相關文檔

      簡單介紹

      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置 檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2) 可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3) 檢測角度 12.5±5°(注4) 晶圓間距 間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5) 適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置


      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置  的詳細介紹

      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置


      電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
      消耗電流 65mA以下
      因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。
      而LED光源的光具有一定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
      0.5ms的*速反應
      實現0.5ms的*速反應。兼顧*速反應性和*精度。
      基于2段受光元件的*精度位置檢測
      利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
      輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
      短路保護 裝備(自動復位)
      反應時間 500μs以下
      工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)
      穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)
      定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式
      M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
      因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
      基于2段受光元件的*精度位置檢測
      可從四個方向引出電纜
      傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。
      可根據傳感器的設置情況靈活調節。
      尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,質量約為75g的小巧、輕盈型
      以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員,十分危險。
      M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
      M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
      氮化膜具有可吸收特定波長光的性質,吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。

      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置

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