日本SUNX晶圓定位傳感器,松下晶圓定位傳感器樣本
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產品名稱: 日本SUNX晶圓定位傳感器,松下晶圓定位傳感器樣本
產品型號:
產品展商: 日本Panasonic松下
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簡單介紹
日本SUNX晶圓定位傳感器,松下晶圓定位傳感器樣本
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
日本SUNX晶圓定位傳感器,松下晶圓定位傳感器樣本
日本SUNX晶圓定位傳感器,松下晶圓定位傳感器樣本
的詳細介紹
日本SUNX晶圓定位傳感器,松下晶圓定位傳感器樣本
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
使用環境溫度 0?＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10?＋70℃
使用環境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH
使用環境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下
耐電壓 AC1,000V 1分鐘 所有電源連接端子與外殼之間
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
日本SUNX晶圓定位傳感器,松下晶圓定位傳感器樣本
消耗電流 65mA以下
輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON
短路保護 裝備(自動復位)
反應時間 500μs以下
工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)
穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)
定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。可根據傳感器的設置情況靈活調節。
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，質量約為75g的小巧、輕盈型。
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
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